实现洁净度要求的通风措施

洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1] ：

（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

（3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。

（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。

洁净室气流组织考虑原则

（1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。

（2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。

（3） 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。

（4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。

（5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。

（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。

（7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。 [2]

洁净室是任何给定的容纳空间，其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数，例如温度，湿度和压力。关键部件是微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器，在某些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。

选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸，空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室，他们必须穿着特殊的衣服，以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。

根据房间的分类或功能，人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限，或者与多层兔子套装完全包裹在一起，并配有自给式呼吸器。

洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。

风淋室内设备组成：主要由室体、照明、过滤系统、风机组、吹嘴、电控等部分组成。

(1)、室体：壁板采用彩钢保温板，其内外板均为彩钢板，中间填充60mm厚聚苯乙烯材料，PU发泡连续成型；内外板与保温材料整体压制而成一体。人员进出大门尺寸为（宽×高）mm：700×1800。

(2)、室内照明：在室体的顶部安装照明灯，灯管采用飞利浦光源，既又节能且维护方便，镇流器采用喷房专用镇流器，保证光强≥500Lx。

(3)、送排风系统：

a、送排风的配置方案采用1套送风机组，配置一台送风机，风机采用离心风机。采用1套排风机组为室体排风，

b、万向吹嘴：室内空气采用设置在室体顶部和侧面的万向吹嘴吹向操作人员的不同角落，确保洁净质量。

c、控制系统：采用进口或合资元器件使整个控制系统具有较高的可靠性。