实现洁净度要求的通风措施

洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1] ：

（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

（3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。

（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。

洁净室气流组织考虑原则

（1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。

（2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。

（3） 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。

（4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。

（5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。

（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。

（7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。 [2]

洁净室是任何给定的容纳空间，其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数，例如温度，湿度和压力。关键部件是微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器，在某些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。

选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸，空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室，他们必须穿着特殊的衣服，以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。

根据房间的分类或功能，人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限，或者与多层兔子套装完全包裹在一起，并配有自给式呼吸器。

洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。

洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层;

(3)自净时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框架内(恶化的洁净度下)，对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;

(4)末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较率的过滤器以降低气流速度;为节能应考虑采用较率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积小;

(5)经济性考虑：过大的气流速度造成投资及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果;

(6)对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。